本文目录一览： 1、半导体工艺废气电加热解决方案和其技术特点 半导体工艺废气电加热解决方案和其技术特点 1、半导体酸废气处理通常采用碱液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法